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Title | Etude de la croissance et des propriétés de films minces d'AlN épitaxiés par jets moléculaires sur substrat silicium: application aux résonateurs acou | |
File Name | ThA_se_JC_Moreno.pdf - 7.89 MB | |
Pages | 147 pages | |
Owner | archives-ouvertes.fr | |
Author | Jean-Christophe Moreno | |
Creation date | 4 years ago | |
Nb of downloads | 58 |
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