Etude De La Croissance Et Des Propriétés De Films Minces D'AlN épitaxiés Par Jets Moléculaires Sur Substrat Silicium Application Aux Résonateurs Acou.pdf

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Title Etude de la croissance et des propriétés de films minces d'AlN épitaxiés par jets moléculaires sur substrat silicium: application aux résonateurs acou
File Name ThA_se_JC_Moreno.pdf - 7.89 MB
Pages 147 pages
Owner archives-ouvertes.fr
Author Jean-Christophe Moreno
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